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Transparent films vacuum coatings machine with integrated in-line monitoring and control

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Equipo avanzado para el control ultra rápido

Impulsado por las necesidades actuales de contar con unos procesos de producción rentables y de gran calidad, el proyecto TRANSMACH desarrolló una unidad de elipsometría ultra rápida de múltiples longitudes de onda (UFMWE) capaz de controlar los procesos rápidos.

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La industria del embalaje implica unos procesos extremadamente rápidos, unas necesidades técnicas especiales para los recubrimientos, un mayor consumo de material y energía, así como la necesidad de repetibilidad, productos de alta calidad y reducción de costes. Con el fin de abordar estas cuestiones, el proyecto TRANSMACH se centró en desarrollar una máquina de recubrimiento con generadores de vacío de películas transparentes, con un seguimiento y un control integrado en tiempo real. Esta propuesta inteligente incluye una unidad ultra rápida para el control del proceso y una técnica de evaluación de las propiedades del recubrimiento transparente para las máquinas de producción con generadores de vacío (LAV) de demostración con control en línea. Parte del trabajo consistió en desarrollar una unidad de control por elipsometría ultra rápida de múltiples longitudes de onda (UFMWE, del inglés Ultra Fast Multi-Wavelength Ellipsometry), capaz de controlar los procesos rápidos. La unidad UFMWE puede cumplir las estrictas condiciones del control en línea y puede controlar procesos muy rápidos de recubrimiento con generadores de vacío. Una de las condiciones principales es una velocidad alta de obtención de datos para el control de los procesos en línea, y por tanto el diseño de la unidad incluyó varias novedades. Algunas de ellas son el monocromador avanzado FUV200:UT 300, una fuente de luz xenon de 150 vatios y una tabla de obtención ultra rápida combinada con un detector híbrido multicanal. Una de las especificaciones es un tiempo total de obtención de datos de menos de 100ms a lo largo de una longitud de onda 32 con un radio espectral de 190-830nm. Se prestó especial atención a la seguridad de la unidad incluyendo un sistema de purga de nitrógeno para la evaluación de ozono. Además, se incorporó también un contador de tiempo en la fuente de bloqueo para ampliar la duración de la fuente luminosa al operar en la franja UV lejana. Así mismo, un micro obturador insertado impide que las perturbaciones externas afecten a la precisión de las mediciones. La unidad incluye también un espectrógrafo específico para el proyecto y un detector espectroscópico integrado que se basa en el uso del espectrógrafo CAUTH40 y un detector lineal de CCD (2048 píxeles). Las tablas de obtención ultra rápida de datos permiten la comunicación de la unidad con los sensores para la obtención, el modelado, el soporte de la base de datos, la gestión de datos y la estadística. La unidad prototipo y el software están disponibles para distintas clases de colaboración.

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