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Transparent films vacuum coatings machine with integrated in-line monitoring and control

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Des équipements avancés pour une surveillance ultra rapide

Mis au défi par les besoins modernes en processus de production rentables et de haute qualité, le projet TRANSMACH a mis au point une unité d'ellipsométrie ultra rapide à longueurs d'ondes multiples (UFMWE, Ultra Fast Multi-Wavelength Ellipsometric (UFMWE)) capable de superviser des processus rapides.

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L'industrie de l'emballage doit faire face à des processus extrêmement rapides, à des exigences techniques particulières, à une augmentation de la consommation de matériaux et d'énergie, ainsi qu'à la nécessité d'offrir une certaine répétabilité, des produits de haute qualité et une réduction des coûts. Mis au défi par toutes ces questions, le projet TRANSMACH s'est concentré sur le développement de machines de métallisation sous vide de films transparents avec surveillance et contrôle en ligne intégrés. Cette approche intelligente inclut une unité ultra rapide pour la surveillance des processus et une technique de criblage des propriétés du revêtement transparent pour tester l'équipement sous vide de grande surface (LAV, Large Area Vacuum) avec le contrôle en ligne. Les travaux du projet ont notamment porté sur le développement d'une nouvelle unité d'ellipsométrie ultra rapide à longueurs d'ondes multiples (UFMWE) capable de superviser des processus rapides. L'unité UFMWE peut répondre aux exigences strictes de la surveillance en ligne et contrôler des processus de métallisation sous vide ultra rapide de bandes. Une des principales exigences est une vitesse d'acquisition des données élevée pour la surveillance des processus en temps réel. À cette fin, plusieurs nouveautés ont été introduites dans la conception de l'unité. Ces nouveautés consistent notamment en un monochromateur de pointe FUV200:UT 300, en une source lumineuse au xénon de 150 watts et en un tableau d'acquisition ultra rapide combiné à un détecteur hybride à canaux multiples. Les spécifications incluent un temps total d'acquisition des données inférieur à 100ms sur une plage de 32 longueurs d'onde avec une portée spectrale de 190-830nm. Une attention particulière a été accordée à la sécurité de l'unité grâce à l'intégration d'un système de purge à l'azote pour l'évacuation de l'ozone. Par ailleurs, un compteur de temps a également été intégré dans la source du bloc afin d'allonger la durée de vie de la source lumineuse en cas de fonctionnement dans la plage de l'UV lointain. Enfin, un microvolet intégré inhibe les perturbations externes pouvant affecter la précision des mesures. L'unité comprend également un spectrographe propre au projet et un détecteur spectroscopique intégré reposant sur l'utilisation du spectrographe CAUTH40 et d'un détecteur CCD linéaire (2048 pixels). Des tableaux d'acquisition ultrarapide permettent à l'unité de communiquer avec des capteurs pour l'acquisition, la modélisation, le support de la base de données locale, la gestion des données et les statistiques. L'unité et le logiciel prototypes sont proposés pour divers types de collaboration.

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