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Flash lamp supported deposition of 3c-sic films

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Des capteurs bon marché pour des températures élevées et des environnements rudes

Dans le cadre du projet FLASiC, des chercheurs ont développé et testé de nouveaux capteurs placés sur des tranches de Si pour l'analyse des propriétés des liquides dans des environnements rudes.

Les tranches de carbure de silicium (SiC) de grande superficie et qualité développées sont considérées comme idéales pour des applications microélectroniques et biomédicales soumises à des températures élevées et à des environnements rudes. Jusqu'à présent, la production de ces tranches était toutefois trop onéreuse. En outre, celles-ci se caractérisaient par une faible mobilité. Pour répondre à ces problèmes, le projet FLASiC s'est concentré sur la mise au point d'un nouveau procédé de fabrication de tranches de SiC cubique (3C-SiC) épitaxiales et en vrac sur du Si ou des substrats. Cette technologie avancée a permis de développer des capteurs et des dispositifs bon marché et opérationnels à des températures élevées et dans des environnements rudes. Sur la base des nouvelles tranches de SiC produites, les chercheurs ont mis au point des démonstrateurs tels que des prototypes de capteurs de gaz, des appareils de surveillance des propriétés des liquides et des aiguilles biomédicales. À titre d'exemple, grâce au nouveau système de surveillance de l'écoulement, il est possible de détecter facilement les fuites au niveau du système de prélèvement d'air. Le système de prélèvement d'air empêche le gel en cours de vol des bords d'attaque des ailes grâce au transport d'air chaud (300°C) en provenance des moteurs le long des bords d'attaque à l'intérieur des ailes. Ce nouveau système à haute température garantit une surveillance fiable du flux stable le long du système en tube et la détection et la localisation aisées des fuites. Conçu pour l'analyse des propulseurs, un dispositif miniature de surveillance des propriétés des liquides est à même de mesurer la densité et la viscosité de supports agressifs d'un point de vue chimique dans des applications aéronautiques. À cette fin, un boîtier spécial a été fabriqué afin que seule la zone sensible de la puce du capteur 3C-SiC soit exposée à l'environnement, le reste du dispositif étant protégé. La conception modulaire du système facilite en outre le remplacement et la modification des différents composants. La technologie SiC de pointe devrait renforcer de manière significative l'avantage concurrentiel des industries européennes sur le marché international.