Des capteurs d'imagerie CMOS fabriqués en Europe
Les systèmes optiques des missions d'observation de la Terre et d'autres planètes sont dotés de capteurs d'imagerie qui transforment la lumière reçue en signaux numériques, lesquels peuvent être ensuite traités pour régénérer l'image. Récemment, on s'est intéressé à proposer des capteurs à base de CMOS pour ces environnements. L'Agence spatiale européenne (ESA) et la Commission européenne ont constaté la nécessité de fabriquer des capteurs d'imagerie en technologie CMOS, mais en se fournissant uniquement auprès de sources européennes. Des chercheurs financés par l'UE ont lancé le projet EUROCIS (Platform for European CMOS imagers) dans ce but. Récemment encore, les capteurs d'imagerie étaient basés sur des technologies CCD (à couplage de charge), disponibles en Europe. Les chercheurs ont conçu un capteur d'imagerie en CMOS qui satisfait aux normes spatiales exigeantes et résiste à des conditions sévères. La clé du succès a été d'utiliser la passivation de la face arrière, à l'aide d'un recuit par laser. Les chercheurs ont conduit de nombreuses expériences sur un véhicule de test, avec des photodiodes de différentes tailles, afin de définir les conditions optimales pour renforcer la stabilité chimique de galettes en silicium. Ils ont aussi évalué l'application de revêtements afin de réduire les reflets et d'optimiser la transmission de la lumière par les surfaces en silicium. Les chercheurs ont fabriqué les composants, puis réalisé et testé des capteurs CMOS afin de valider le nouveau concept. L'environnement de test comprenait les équipements électriques et optiques pour le soutien. Les premiers fournissaient l'électricité au capteur et lisaient la sortie analogique, les derniers fournissaient les stimuli optiques à partir de diverses sources, selon les variables à mesurer. Des tests aux vibrations ont aussi été effectués. Les partenaires du projet EUROCIS se sont appuyés sur leur infrastructure de pointe et leur savoir-faire pour élargir leur gamme de concepts innovants en recourant au prototypage et à la production à petite échelle. Les nouveaux capteurs d'imagerie CMOS devraient trouver d'autres usages de haut niveau dans la sécurité et l'imagerie médicale.
Mots‑clés
Systèmes d'imagerie, secteur spatial, semi-conducteur CMOS, capteur d'imagerie
