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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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Scanning Electron-beam Nanofabrication for SEnsors

Description du projet

Détecter les gaz à l’échelle nanométrique

La détection et la discrimination précises des gaz volatils restent un défi majeur, car les systèmes de détection électroniques existants peinent à allier haute sélectivité, miniaturisation et intégration de plusieurs matériaux de détection sur une seule puce. Le projet SENSE, financé par l’UE, développera une plateforme de nanofabrication par écriture directe basée sur le dépôt induit par faisceau d’électrons afin de faire progresser la technologie du nez électronique (eNose). Globalement, il favorisera la croissance, avec une précision de l’ordre du nanomètre et à des emplacements spécifiques, de films nanoporeux riches en carbone et de type graphène sur des réseaux de microélectrodes, afin de créer des capteurs de gaz multicanaux dotés de propriétés sur mesure. Il combine une fabrication contrôlée par faisceau, une automatisation guidée par l’image et un traitement in situ, le tout soutenu par une caractérisation avancée garantissant la reproductibilité. Cette approche permettra d’obtenir des nez électroniques compacts et sélectifs pour les composés organiques volatils, avec des applications dans les domaines de la catalyse, de l’énergie et de la photonique.

Objectif

SENSE: Scanning Electron-beam Nanofabrication for SEnsors tackles a major bottleneck in electronic noses (eNoses), which rely on arrays of partially selective gas sensors. Current devices remain bulky and limited by the inability to integrate multiple distinct sensing materials on a single chip. SENSE introduces a direct-write approach for fabricating multichannel gas sensors using electron beam induced deposition (EBID). EBID enables local decomposition of adsorbed precursors with nanometre precision, allowing site-specific growth of nanoporous carbon-rich and graphene-like films, either pristine or doped, directly onto microelectrode arrays.

The project will (i) demonstrate graphitisation of organic and organometallic precursors into carbon-rich nanostructures with tailored composition, (ii) achieve precise site-specific integration of gas-sensitive materials onto commercial platforms, (iii) develop beam control and image-guided automation to ensure reproducibility, (iv) design and test multichannel sensors with diverse material compositions, and (v) establish a reproducible fabrication workflow anchored in advanced characterisation.

The methodology combines SEM-based deposition with in situ gas injection, substrate heating, and multi-technique feedback (Raman, FTIR, AFM-IR, XPS, CPEM). This platform enables programmable libraries of functionalised graphene-family materials on a single chip, eliminating masks and transfer steps.

Expected impacts include miniaturised, low-cost eNoses with improved sensitivity and selectivity across volatile organic compounds, and transferable material recipes for catalysis, energy storage, and photonics. The fellowship will strengthen the researcher’s expertise in nanofabrication, automation, and advanced microscopy, supporting their independent career in nanoscale materials engineering.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

Mots‑clés

Programme(s)

Thème(s)

Régime de financement

HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships

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Appel à propositions

(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) HORIZON-WIDERA-2025-TALENTS-01

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Coordinateur

VSB - TECHNICAL UNIVERSITY OF OSTRAVA
Contribution nette de l'UE
€ 191 918,16
Adresse
17 LISTOPADU 2172/15
708 00 OSTRAVA PORUBA
Tchéquie
Région
Česko Praha Hlavní město Praha
Type d’activité
Higher or Secondary Education Establishments
Liens
Coût total
Aucune donnée

Partenaires (1)