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Scanning Electron-beam Nanofabrication for SEnsors

Descrizione del progetto

Rilevamento dei gas su scala nanometrica

Il rilevamento accurato e la discriminazione dei gas volatili sono ancora sfide complesse, poiché i sistemi di rilevamento elettronici esistenti faticano a combinare elevata selettività, miniaturizzazione e integrazione di più materiali sensibili su un unico chip. Il progetto SENSE, finanziato dall’UE, svilupperà una piattaforma di nanofabbricazione a scrittura diretta basata sulla deposizione indotta da fascio di elettroni per sviluppare ulteriormente la tecnologia del naso elettronico (eNose). Nel complesso, consentirà la crescita, con precisione nanometrica e in siti specifici, di film nanoporosi ricchi di carbonio e simili al grafene su serie di microelettrodi, al fine di creare sensori di gas multicanale con proprietà personalizzate. Il progetto combina la fabbricazione controllata dai fasci, l’automazione guidata da immagini e l’elaborazione in situ, e le supporta con una caratterizzazione avanzata a garanzia di riproducibilità. Questo approccio consentirà di realizzare eNose compatti e selettivi per i composti organici volatili, con applicazioni nei settori della catalisi, dell’energia e della fotonica.

Obiettivo

SENSE: Scanning Electron-beam Nanofabrication for SEnsors tackles a major bottleneck in electronic noses (eNoses), which rely on arrays of partially selective gas sensors. Current devices remain bulky and limited by the inability to integrate multiple distinct sensing materials on a single chip. SENSE introduces a direct-write approach for fabricating multichannel gas sensors using electron beam induced deposition (EBID). EBID enables local decomposition of adsorbed precursors with nanometre precision, allowing site-specific growth of nanoporous carbon-rich and graphene-like films, either pristine or doped, directly onto microelectrode arrays.

The project will (i) demonstrate graphitisation of organic and organometallic precursors into carbon-rich nanostructures with tailored composition, (ii) achieve precise site-specific integration of gas-sensitive materials onto commercial platforms, (iii) develop beam control and image-guided automation to ensure reproducibility, (iv) design and test multichannel sensors with diverse material compositions, and (v) establish a reproducible fabrication workflow anchored in advanced characterisation.

The methodology combines SEM-based deposition with in situ gas injection, substrate heating, and multi-technique feedback (Raman, FTIR, AFM-IR, XPS, CPEM). This platform enables programmable libraries of functionalised graphene-family materials on a single chip, eliminating masks and transfer steps.

Expected impacts include miniaturised, low-cost eNoses with improved sensitivity and selectivity across volatile organic compounds, and transferable material recipes for catalysis, energy storage, and photonics. The fellowship will strengthen the researcher’s expertise in nanofabrication, automation, and advanced microscopy, supporting their independent career in nanoscale materials engineering.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

Parole chiave

Programma(i)

Argomento(i)

Meccanismo di finanziamento

HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships

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Invito a presentare proposte

(si apre in una nuova finestra) HORIZON-WIDERA-2025-TALENTS-01

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Coordinatore

VSB - TECHNICAL UNIVERSITY OF OSTRAVA
Contributo netto dell'UE
€ 191 918,16
Indirizzo
17 LISTOPADU 2172/15
708 00 OSTRAVA PORUBA
Cechia
Regione
Česko Praha Hlavní město Praha
Tipo di attività
Higher or Secondary Education Establishments
Collegamenti
Costo totale
Nessun dato

Partner (1)