Objectif
IMPROVE aims to improve European Semiconductor fabs efficiency by providing methods and tools to better control the process variability, reduce the cycle time and enhance the effectiveness of the production equipment. This will be achieved thanks to 3 major developments.
The development of Virtual Metrology technics allowing to control the process at wafer level whilst suppressing standard metrology steps.
The development of Predictive Equipment Behaviour technics to improve the process tools reliability whilst optimizing the maintenance frequency and increasing the equipment uptime.
The development of Dynamic Risk Assessment and Dynamic Control Plan concepts, suppressing unnecessary measurements steps whilst dynamiccaly improving the control plan efficiency .
The impact of the integration of these technics in the line decision systems will also be evaluated and assessed.
.
Champ scientifique
Appel à propositions
JU-ENIAC-2008-1
Voir d’autres projets de cet appel
Régime de financement
JTI-CP-ENIAC - Joint Technology Initiatives - Collaborative Project (ENIAC)Coordinateur
38920 Crolles
France
Voir sur la carte
Participants (35)
13790 Rousset
Voir sur la carte
20864 Agrate Brianza
Voir sur la carte
20864 AGRATE BRIANZA
Voir sur la carte
85579 Neubiberg
Voir sur la carte
9500 Villach
Voir sur la carte
. LEIXLIP KILDARE
Voir sur la carte
13790 ROUSSET
Voir sur la carte
8141 UNTERPREMSTATTEN
Voir sur la carte
34098 Montpellier
Voir sur la carte
85238 Petershausen
Voir sur la carte
75002 PARIS
Voir sur la carte
5 Dublin
Voir sur la carte
38330 Montbonnot Saint-Martin
Voir sur la carte
00156 ROME
Voir sur la carte
80686 Munchen
Voir sur la carte
75015 PARIS 15
Voir sur la carte
80539 MUNCHEN
Voir sur la carte
D9 Dublin
Voir sur la carte
27100 Pavia
Voir sur la carte
20122 Milano
Voir sur la carte
35122 Padova
Voir sur la carte
42023 SAINT ETIENNE CEDEX
Voir sur la carte
38000 GRENOBLE
Voir sur la carte
20041 agrate brianza
Voir sur la carte
3045 504 Coimbra
Voir sur la carte
10129 Torino
Voir sur la carte
75794 Paris
Voir sur la carte
2700 WIENER NEUSTADT
Voir sur la carte
90411 Nürnberg
Voir sur la carte
93161 Sinzing
Voir sur la carte
80131 Napoli
Voir sur la carte
48155 MUNSTER
Voir sur la carte
9 Dublin
Voir sur la carte
01099 Dresden
Voir sur la carte
91054 Erlangen
Voir sur la carte