Objectif
We propose a step change in the way plasma etching processes are controlled, through understanding, measuring and controlling the key parameters determining the environment experienced by a processed substrate. We will use simulation, experiments and innovative plasma processing concepts to demonstrate robust PLASMA ETCHING OF NANO-SCALE FEATURES as well as CONTROLLED SURFACE NANO-ROUGHNESS and texture. We will use a multi-level nested approach for the understanding and optimisation of plasma processing for nanotechnology: The first level is the plasma tool and the gas phase plasma state, the second level is the surface and the features being etched, while the third level is the nano-texture and nano-roughness of the surfaces and features etched. A feedback loop will be developed to optimise simultaneously all levels of the nano-scale etching This will greatly improve the ability, especially of SMEs, to achieve reliable fabrication of nano-devices in small batch development, and in the scale-up to larger production quantities.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie de l’information télécommunication technologie radio fréquence radio
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique système d’automatisation et de contrôle
- ingénierie et technologie nanotechnologie
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
FP6-2004-IST-NMP-2
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
WITNEY OXFORDSHIRE
Royaume-Uni
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.