Objetivo
- Improve current version of machine by: (a) reducing minimum wavelength to operate in UV for ultra thin oxide/nitride/oxide multilayers, (b) reducing spot size to 100x200 micron to allow measurements in test pads as well as scribe lines, and (c) incorporating alloy composition determination procedure in software.
- Assess accuracy and precision (repeatability) on a wide range of structures by comparison with off-line measurements.
- Assess ability to discriminate changing layer characteristics both within batches and from batch-to-batch, together with throughput and reliability, by extensive trials on selected representative structures from mainstream CMOS technology demonstrators and advanced Bipolar systems.
- Optimize ease-of-use by customization of analysis methodology for representative structures.
This project will assess, in a process environment, the SOPRA Multi-Layer Monitor (MLM) which is an automatic, clean-room compatible, high throughput, optical monitoring instrument based on multi-channel spectroscopic ellipsometry. The machine is capable of measuring, non-destructively, up to five layers simultaneously on patterned product wafers, providing information on thickness, crystallinity, composition, refractive index and roughness, together with uniformity mapping. The outcome of the project will be a machine with an operator-level methodology for important CMOS/Bipolar process steps with quantified capabilities/benefits.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
GU14 6TD Farnborough
Reino Unido
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.