Objectif
The global objectives and anticipated results of the project are:
1 To prove the efficiency of the conformal growth technique to integrate monolithically high quality GaAs-based light emitting devices on silicon.
2 To examine and improve the compatibility between the conformal growth technique and the standard silicon CMOS processing, the conservation of performances of the silicon ICs being a main goal.
3 In case of partial compatibility, to evaluate accurately the required modifications on silicon ICs design and technology in order to decide on further industrial development of this integration technique.
This project deals principally with the realisation of the building block of future optically interconnected systems, i.e. GaAs light emitting devices integrated with their silicon drivers. A monolithic integration method, based on the use of the new conformal epitaxy technique, will be developed.
In a first two-year step, the monolithic integration will be studied and validated through the completion of three works, leading to a LED + driver demonstrator:
- Silicon drivers compatible with the requirements of conformal epitaxy (specific geometry, eventually misoriented substrates, aluminium metallisations postponed after III-V growth) will be designed, processed, and their performances accurately evaluated before and after the integration process.
- High quality GaAs layers will be grown on these drivers using conformal epitaxy. The conformal procedure will be improved in order to increase its compatibility with the technology and high performances of silicon ICs. Special efforts will be devoted to decrease the presently used substrate misorientation and temperatures of substrate preparation and growth.
- These layers will then be used as substrates on which the subsequent growth and process of GaAs-based light emitting devices will be optimised. Low-power consuming microcavity LEDs will be integrated: performances and reliability comparable with homoepitaxial devices will be researched.
In a third year, the future exploitation of the results of the project will be prepared through two parallel works, aiming at improving the compatibility between monolithically integrated devices and back-end technology:
1 the influence of a multi-Al-levels back-end technology on the performances and reliability of integrated devices will be accurately studied; required evolutions of technology or design will be identified.
2 the implementation of local interconnects inside the drivers will be studied in order to facilitate the back-end technology and to resolve eventual problems like frequency limitation or serial access resistance.
Once the goals of this project achieved, the monolithic integration technique could be used to integrate various optoelectronic devices on complex optically interconnected systems. Nevertheless, the development of industrial III-V epitaxial equipments compatible with large substrates (at least 6" or 8") will be useful to fully exploit the results obtained and the demonstrated potentialities of the conformal growth technique. A specific action could be decided in that way at the end of the first two-year if valuable.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métal pauvre
- sciences naturelles mathématiques mathématiques pures géométrie
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
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Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
75 008 Paris
France
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.