Exploring new limits to Moore's law

Información del proyecto

MORE MOORE

Identificador del acuerdo de subvención: 507754

Proyecto cerrado

Fecha de inicio 19 Diciembre 2003

Fecha de finalización 31 Diciembre 2006

Financiado con arreglo a

• Information Society Technologies: thematic priority under the specific programme "Integrating and strengthening the European research area" (2002-2006).

Coste total

€ 43 622 000,00

Aportación de la UE

€ 23 250 000,00

Coordinado por

ASML NETHERLANDS B.V.
Netherlands

Objetivo

This research proposal is about Extreme Ultra Violet Lithography (EUVL), the next generation technology chosen by the electronics industry to manufacture integrated circuits in 2010 and beyond. It represents an opportunity to boost the intensive efforts made by industry to reach new standards in lithography and achieve European leadership in the highly competitive sector of electronics manufacturing technology and know-how. The Integrated Project more Moore will involve various large and small manufacturing companies and research institutes or universities, all highly specialised in the key domains of EUVL and at the vanguard of European lithography research and development. Under the co-ordination of a leading European manufacturer of chip making equipment, the consortium constitutes a unique platform to integrate expertise in key branches of lithography, and to produce breakthrough technological solutions. The project will develop, ahead of the ITRS international roadmap (described in the main report), semiconductor devices shrunk by an order of magnitude down to the 5-nm size. The essential elements of the "More Moore" integrated research project can be summarised as follows:
- More Moore will build upon and complement the work done in EUVL under National and EUREKA programmes, especially MEDEA+;
- The research will push the limits of lithography to enable and exceed the requirements for the 22 nm node;
- As an Integrated Project, it will extend the RandD network in this domain by including all capable institutes, universities and SME's.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

• ciencias naturales › ciencias físicas › electromagnetismo y electrónica › dispositivo semiconductor
• ciencias sociales › derecho

Palabras clave

• Nanotechnology
• Risk Assessment

Programa(s)

• FP6-IST - Information Society Technologies: thematic priority under the specific programme "Integrating and strengthening the European research area" (2002-2006).

Tema(s)

• IST-2002-2.3.1.1 - Pushing the limits of CMOS, preparing for post-CMOS

Convocatoria de propuestas

Datos no disponibles

Régimen de financiación

IP - Integrated Project

Coordinador

ASML NETHERLANDS B.V.

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: De Run 6501, 5504 DR ; 5500 AH Veldhoven ; Países Bajos
• Coste total: Sin datos

Participantes (24)

ADVANCED MASK TECHNOLOGY CENTER GMBH AND CO. KG

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

CARL ZEISS SMT AG

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: 17, rue des Martyrs (CEA-LETI) ; 38054 Grenoble
• Coste total: Sin datos

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: 17 avenue des Martyrs ; 38054 Grenoble
• Coste total: Sin datos

ENTE PER LE NUOVE TECNOLOGIE, L'ENERGIA E L'AMBIENTE

Italia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Via Enrico Fermi 45 ; 00044 Frascati
• Coste total: Sin datos

EPPRA SOCIETE PAR ACTIONS SIMPLIFIEE

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: 16 avenue du Québec ; 91961 Courtaboeuf
• Coste total: Sin datos

FOCUS GMBH GERAETE ZUR ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE UND OBERFLAECHENANALYTIK

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Am Birkhecker Berg 20 ; D-65510 Hünstetten
• Coste total: Sin datos

FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Schottkystrasse 10 ; 91058 Erlangen
• Coste total: Sin datos

IMAGINE OPTIC

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

INSTITUTE OF SPECTROSCOPY OF RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCE

Rusia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: 142092 Troisk, Moscow region
• Coste total: Sin datos

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW

Bélgica

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

JOHANNES GUTENBERG-UNIVERSITAET MAINZ

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Staudinger Weg 7 ; 55099 Mainz
• Coste total: Sin datos

NATIONAL CENTRE FOR SCIENTIFIC RESEARCH "DEMOKRITOS"

Grecia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

NETHERLANDS ORGANISATION FOR APPLIED SCIENTIFIC RESEARCH - TNO

Países Bajos

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Stieltjesweg 1 ; 2628CK Delft
• Coste total: Sin datos

PHILIPS EXTREME UV GMBH

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

PHYSTEX

Países Bajos

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

SAGEM SA

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

SIGMA-C GMBH SOFTWARE

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

SINCROTRONE TRIESTE SOCIETA CONSORTILE PER AZIONI

Italia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

SOCIETE PAR ACTIONS SIMPLIFIEE XENOCS

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

STICHTING VOOR FUNDAMENTEEL ONDERZOEK DER MATERIE

Países Bajos

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Edisonbaan 14 ; 3430 BE Nieuwegein
• Coste total: Sin datos

TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT

Países Bajos

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

UNIVERSITAET BIELEFELD

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Coste total: Sin datos

XTREME TECHNOLOGIES GMBH

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Hans-Böckler-Str. 27 ; 37079 Göttingen
• Coste total: Sin datos