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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-05-29

Advanced gate stacks for CMOS technology

Objetivo

We will explore advanced gate stacks for ultimate scaling of silicon based devices beyond the 45nm technology node. The firstobjective will be to find suitable metal oxide dielectric materials to replace the long standing silicon dioxide from the transisto rgate. The materials must have a dielectric constant higher than 30 and a high thermal stability in contact with silicon, in orderto obtain equivalent oxide thickness (EOT) 0.5nm or lower. The second objective will be to develop appropriate models for thea nalysis of the electrical data in order to extract accurate values of EOT, interface trap density, and flat band voltage shifts. Toachieve the objectives we have broken our workplan in four priorities which are: materials preparation; post-depositiontreatm ent; device fabrication and testing; data analysis. To implement the workplan we are going to exchange scientistsbetween the academic institution NCSR-'Demokritos' and the industrial organization Philips Research Leuven. Philips willlearn from "Demokritos" about non-traditional material preparation methodologies based on molecular beam epitaxy(deposition) and structural characterization of metal oxides and interfaces. On the other hand NCSR will learn from Philipsabout fabrication and electrical testing of high-k devices. The immense interest of the industry in exploring new materials andassociated equipment at a low cost without disrupting the main process flow, guarantees that this collaboration will developinto a lasting strategic partnership.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Palabras clave

Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

FP6-2002-MOBILITY-3
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

TOK - Marie Curie actions-Transfer of Knowledge

Coordinador

NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH "DEMOKRITOS"
Aportación de la UE
Sin datos
Dirección
Patriarchou Gregoriou Str.
60228 AGHIA PARASKEVI
Grecia

Ver en el mapa

Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (1)

Mi folleto 0 0