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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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Contenu archivé le 2024-05-29

Advanced gate stacks for CMOS technology

Objectif

We will explore advanced gate stacks for ultimate scaling of silicon based devices beyond the 45nm technology node. The firstobjective will be to find suitable metal oxide dielectric materials to replace the long standing silicon dioxide from the transisto rgate. The materials must have a dielectric constant higher than 30 and a high thermal stability in contact with silicon, in orderto obtain equivalent oxide thickness (EOT) 0.5nm or lower. The second objective will be to develop appropriate models for thea nalysis of the electrical data in order to extract accurate values of EOT, interface trap density, and flat band voltage shifts. Toachieve the objectives we have broken our workplan in four priorities which are: materials preparation; post-depositiontreatm ent; device fabrication and testing; data analysis. To implement the workplan we are going to exchange scientistsbetween the academic institution NCSR-'Demokritos' and the industrial organization Philips Research Leuven. Philips willlearn from "Demokritos" about non-traditional material preparation methodologies based on molecular beam epitaxy(deposition) and structural characterization of metal oxides and interfaces. On the other hand NCSR will learn from Philipsabout fabrication and electrical testing of high-k devices. The immense interest of the industry in exploring new materials andassociated equipment at a low cost without disrupting the main process flow, guarantees that this collaboration will developinto a lasting strategic partnership.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Mots‑clés

Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

FP6-2002-MOBILITY-3
Voir d’autres projets de cet appel

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

TOK - Marie Curie actions-Transfer of Knowledge

Coordinateur

NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH "DEMOKRITOS"
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse
Patriarchou Gregoriou Str.
60228 AGHIA PARASKEVI
Grèce

Voir sur la carte

Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée

Participants (1)

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