Objetivo
As the dimensions of semiconductor devices are increasingly reducing, two dimensional (2D) doping profiling techniques on the nano-meter scale is emerging as a very important issue for the semiconductor industry. As evidenced by the numerous discussions at recent conferences, scanning probe microscopy (SPM) based methods are among the most suitable because of their high spatial resolution. Scanning Capacitance Microscopy has the potential to become one of the most useful methods for measurements of doping/carrier concentrations. However, like all SPM techniques, SCM still does not fully meet the requirements of the International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) in terms of spatial resolution, quantification accuracy, sensitivity and reproducibility. Hence further progress in this field is strongly required. The objective of this proposal is to continue a dedicated research activity on SCM taking advantage of previous training. A great variety of dedicated test structures will allow investigating optimal experimental conditions for SCM. Explorative manipulations on ultra-sharp tips will be performed to reduce tip wear and to obtain a sub-10 nm resolution as required by the ITRS targets. Alternatively, other techniques derived from SCM will be exploited to enhance the performance levels of this 2D-profiling tool. In the framework of national and European networks, strong interaction with research groups and industrial partners will be also developed. In particular, the networking will ensure comparisons between SCM and complementary SPM methods to bring them towards the required limits. Through this work, we expect to improve our scientific knowledge in order to reach a high degree of expertise in SCM. The improvement of the method is a real challenge and could give the opportunity to transfer it as a standard and a routine characterisation technique for an accurate and reproducible quantitative 2D analysis in the microelectronics industry.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas óptica microscopía
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
FP6-2002-MOBILITY-11
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
VILLEURBANNE
Francia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.