Obiettivo
As the dimensions of semiconductor devices are increasingly reducing, two dimensional (2D) doping profiling techniques on the nano-meter scale is emerging as a very important issue for the semiconductor industry. As evidenced by the numerous discussions at recent conferences, scanning probe microscopy (SPM) based methods are among the most suitable because of their high spatial resolution. Scanning Capacitance Microscopy has the potential to become one of the most useful methods for measurements of doping/carrier concentrations. However, like all SPM techniques, SCM still does not fully meet the requirements of the International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) in terms of spatial resolution, quantification accuracy, sensitivity and reproducibility. Hence further progress in this field is strongly required. The objective of this proposal is to continue a dedicated research activity on SCM taking advantage of previous training. A great variety of dedicated test structures will allow investigating optimal experimental conditions for SCM. Explorative manipulations on ultra-sharp tips will be performed to reduce tip wear and to obtain a sub-10 nm resolution as required by the ITRS targets. Alternatively, other techniques derived from SCM will be exploited to enhance the performance levels of this 2D-profiling tool. In the framework of national and European networks, strong interaction with research groups and industrial partners will be also developed. In particular, the networking will ensure comparisons between SCM and complementary SPM methods to bring them towards the required limits. Through this work, we expect to improve our scientific knowledge in order to reach a high degree of expertise in SCM. The improvement of the method is a real challenge and could give the opportunity to transfer it as a standard and a routine characterisation technique for an accurate and reproducible quantitative 2D analysis in the microelectronics industry.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze fisiche ottica microscopia
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica microelettronica
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Parole chiave
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
FP6-2002-MOBILITY-11
Vedi altri progetti per questo bando
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
VILLEURBANNE
Francia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.