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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-04-19

Advanced Developments for 0.25 micron CMOS Technologies

Objetivo

The aim of ADEQUAT is to develop the basic process steps and process modules for future 0.35 micron and 0.25 micron CMOS technologies for logic applications.

The project will concentrate on the early development and demonstration of the feasibility of the individual process modules for 0.25 micron CMOS technology. In the first phase, this effort will be carried out in the framework of 0.35 micron lithography, and the feasibility of major process steps will be demonstrated by the fourth quarter of the first year of the project. This will lead to the optimisation and stabilisation of advanced 0.35 micron modules in a 0.5 micron CMOS technology by the end of the project. The possible benefits resulting from the new modules (eg in terms of performance enhancement, process margin or process control improvement or better productivity) will be analysed and reported, which will lead to individual decisions on the process module transfer by the manufacturers.

In parallel, work will be done on modelling and understanding deep sub-micron failure mechanisms and on advanced local analysis and 2-D profiling in relation to advanced process and device modelling.

A work-plan for a second phase will propose the extension into the 0.25 micron regime, leading to the stabilisation of 0.25 micron modules in a 0.35 micron environment and work on 0.35 microns back-end modules.

The Joint Logic Project (JLP, 7363), in which all the major European IC manufacturers have joined forces, will be the main beneficiary of ADEQUAT's results. Furthermore, all the industrial partners will transfer know-how and exploit ADEQUAT modules in their pilot line environment for the development of CMOS logic production processes.

For further information, see project 8002, which describes in more detail the first and second phases of ADEQUAT.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Datos no disponibles

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

Datos no disponibles

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

Datos no disponibles

Coordinador

Interuniversitair Mikroelektronica Centrum
Aportación de la UE
Sin datos
Dirección
Kapeldreef 75
3030 Heverlee
Bélgica

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Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.
Sin datos

Participantes (20)

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Última actualización: 17 Junio 1994

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Permalink: https://cordis.europa.eu/project/id/7236/es

European Union, 2026

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