Objectif
The steady increase in the number of functions per chip and the decrease in the minimum feature size necessitate faster turnaround times for mask fabrication tools and also for IC prototypes. The projection towards 0.35 micron feature size and beyond requires larger chips with higher placement accuracy and dictates the need for a new generation of tools for mask and reticle fabrication. The FREE project aimed at the development of a new electron-beam writing system for reticle fabrication that will answer the needs of the European IC industry for at least the next decade.
The target specification of the system was set at two reticles per hour with a minimum feature size of 1.5 microns (5x reticle) while at the same time writing test structures down to 0.2 micron. The original target of placement accuracies better than 0.07 micron, with CD tolerances of 50 nm and CD linearity iof the same order, has stood the test of time. In the first programme, two E-beam writing strategies were followed; the beam shaping techniques (ELISA) and the gaussian electron-beam system (Leica Cambridge). Both companies had basic systems but required significant improvements in several areas in order to meet the demanding targets of this programme. This part of the programme was completed in February 1992 and the decision taken to proceed to the second part with the gaussian electron beam system from Leica Cambridge.
This second part of the programme is aimed at producing a beta site machine so that requirements can be evaluated in a merchant mask shop in a live commercial environment. In this part, Leica Cambridge are to produce a Vectorscan gaussian beam system designed to meet the objectives and ELISA are to produce a robotics handling system in order to meet the requirements for defect free mask production.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique robotique
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Données non disponibles
Coordinateur
CB1 3QH CAMBRIDGE
Royaume-Uni
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.