Obiettivo
The steady increase in the number of functions per chip and the decrease in the minimum feature size necessitate faster turnaround times for mask fabrication tools and also for IC prototypes. The projection towards 0.35 micron feature size and beyond requires larger chips with higher placement accuracy and dictates the need for a new generation of tools for mask and reticle fabrication. The FREE project aimed at the development of a new electron-beam writing system for reticle fabrication that will answer the needs of the European IC industry for at least the next decade.
The target specification of the system was set at two reticles per hour with a minimum feature size of 1.5 microns (5x reticle) while at the same time writing test structures down to 0.2 micron. The original target of placement accuracies better than 0.07 micron, with CD tolerances of 50 nm and CD linearity iof the same order, has stood the test of time. In the first programme, two E-beam writing strategies were followed; the beam shaping techniques (ELISA) and the gaussian electron-beam system (Leica Cambridge). Both companies had basic systems but required significant improvements in several areas in order to meet the demanding targets of this programme. This part of the programme was completed in February 1992 and the decision taken to proceed to the second part with the gaussian electron beam system from Leica Cambridge.
This second part of the programme is aimed at producing a beta site machine so that requirements can be evaluated in a merchant mask shop in a live commercial environment. In this part, Leica Cambridge are to produce a Vectorscan gaussian beam system designed to meet the objectives and ELISA are to produce a robotics handling system in order to meet the requirements for defect free mask production.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria elettrica, ingegneria elettronica, ingegneria informatica ingegneria elettronica robotica
È necessario effettuare l’accesso o registrarsi per utilizzare questa funzione
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Dati non disponibili
Coordinatore
CB1 3QH CAMBRIDGE
Regno Unito
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.