Objectif
"In line with industry needs, Moore’s law, scaling in ITRS 2013, and ECSEL JU MASP 2017, the main objective of the
TAPES3 project is to discover, develop and demonstrate lithographic, metrology, EUV mask technology, devices and process modules enabling 3nm node technology. This is planned with available EUV/NA 0.33 scanners, and with system design and integration of a new hyper NA EUV lithography tool to enable more single exposure patterning at 3nm to create complex integrated circuits. Process steps for 3D devices as alternative to the conventional FINFet will be explored for application in the 3nm node. The impact of the application of these so called 3D devices on circuit topology and logic design will be explored. During the development, specific challenges in metrology for the characterization of 3D devices will be assessed and metrology tools will be newly developed. The result will be demonstrated in the imec pilot line.
The TAPES3 project relates to the ECSEL work program topic Equipment, Material and Manufacturing. It addresses and targets, as set out in MASP, the grand Challange of ""More Moore Equipment and Materials for sub 10nm technologies"" by exploring the requirements and solutions for the 3nm node. The project touches the core of the continuation of Moore’s law. Moreover, the cost aware development process will support the involved companies, and will place them in a preferred position over their worldwide competition. Through their worldwide affiliations, the impact of the TAPES3 project will be felt outside Europe in America and Asia Pacific semiconductor centers and is expected to benefit the European economy a lot by supporting its semiconductor equipment and metrology sectors with innovations, exports and employment."
Champ scientifique
Mots‑clés
Programme(s)
Thème(s)
Régime de financement
IA - Innovation actionCoordinateur
5504DR Veldhoven
Pays-Bas
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Participants (37)
3001 Leuven
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76705 Rehovot
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1109 Dresden
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91140 Villebon Sur Yvette
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
3001 Leuven
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7521 PH Enschede
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
7521 PH Enschede
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
5683 CR Best
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
7521PH Enschede
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7521 PH Enschede
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
7521 PH Enschede
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
7521 PH Enschede
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5651 GG Eindhoven
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80686 Munchen
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13790 Rousset
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
3001 Leuven
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70569 Stuttgart
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3001 Leuven
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23100 Migdal Haemek
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Participation terminée
9500 Villach
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3001 Leuven
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92360 Meudon La Foret
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
11835 New Cairo
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76100 REHOVOT
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OX13 5QX Abingdon
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07745 Jena
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
5232 Villigen Psi
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38116 Braunschweig
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31700 Blagnac
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
52062 Aachen
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81677 Munchen
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75447 Sternenfels
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2595 DA Den Haag
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5651 GH Eindhoven
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
5651 GG Eindhoven
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
5652 AW Eindhoven
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73447 Oberkochen
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