Cel
"In line with industry needs, Moore’s law, scaling in ITRS 2013, and ECSEL JU MASP 2017, the main objective of the
TAPES3 project is to discover, develop and demonstrate lithographic, metrology, EUV mask technology, devices and process modules enabling 3nm node technology. This is planned with available EUV/NA 0.33 scanners, and with system design and integration of a new hyper NA EUV lithography tool to enable more single exposure patterning at 3nm to create complex integrated circuits. Process steps for 3D devices as alternative to the conventional FINFet will be explored for application in the 3nm node. The impact of the application of these so called 3D devices on circuit topology and logic design will be explored. During the development, specific challenges in metrology for the characterization of 3D devices will be assessed and metrology tools will be newly developed. The result will be demonstrated in the imec pilot line.
The TAPES3 project relates to the ECSEL work program topic Equipment, Material and Manufacturing. It addresses and targets, as set out in MASP, the grand Challange of ""More Moore Equipment and Materials for sub 10nm technologies"" by exploring the requirements and solutions for the 3nm node. The project touches the core of the continuation of Moore’s law. Moreover, the cost aware development process will support the involved companies, and will place them in a preferred position over their worldwide competition. Through their worldwide affiliations, the impact of the TAPES3 project will be felt outside Europe in America and Asia Pacific semiconductor centers and is expected to benefit the European economy a lot by supporting its semiconductor equipment and metrology sectors with innovations, exports and employment."
Dziedzina nauki
Słowa kluczowe
Program(-y)
Temat(-y)
Zaproszenie do składania wniosków
H2020-ECSEL-2017-1-IA-two-stage
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszeniaSystem finansowania
IA - Innovation actionKoordynator
5504DR Veldhoven
Niderlandy
Zobacz na mapie
Uczestnicy (37)
3001 Leuven
Zobacz na mapie
76705 Rehovot
Zobacz na mapie
1109 Dresden
Zobacz na mapie
91140 Villebon Sur Yvette
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
3001 Leuven
Zobacz na mapie
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
5683 CR Best
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
5651 GG Eindhoven
Zobacz na mapie
80686 Munchen
Zobacz na mapie
13790 Rousset
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
3001 Leuven
Zobacz na mapie
70569 Stuttgart
Zobacz na mapie
3001 Leuven
Zobacz na mapie
23100 Migdal Haemek
Zobacz na mapie
Zakończenie uczestnictwa
9500 Villach
Zobacz na mapie
3001 Leuven
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
92360 Meudon La Foret
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
11835 New Cairo
Zobacz na mapie
76100 REHOVOT
Zobacz na mapie
OX13 5QX Abingdon
Zobacz na mapie
07745 Jena
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
5232 Villigen Psi
Zobacz na mapie
38116 Braunschweig
Zobacz na mapie
31700 Blagnac
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
52062 Aachen
Zobacz na mapie
81677 Munchen
Zobacz na mapie
75447 Sternenfels
Zobacz na mapie
2595 DA Den Haag
Zobacz na mapie
5651 GH Eindhoven
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
5651 GG Eindhoven
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
5652 AW Eindhoven
Zobacz na mapie
73447 Oberkochen
Zobacz na mapie