Objectif
The objective of this project is to improve the quantitative submicron surface analysis of semiconductor material and of microelectronic circuits by using Resonant Ionization Mass Spectrometry (RIMS) to achieve a detection limit in the ppm range when analysing test circuits.
The RIMS technique involves the ion beam sputtering the surface under analysis followed by resonant laser photoionisation of the sputtered neutral and their subsequent analysis in a mass spectrometer.
The project consist of two stages:
I) the partners will increase the sensitivity of their instruments by optimising the ion detection optics using Si standards containing a known amount of dopant, uniformly distributed through the wafers. Depending on the element under investigation, an increase in sensitivity up to a factor of 10-100 is expected with respect to a conventional SIMS;
II) the optimised detection capability will be combined with the bombardment by highly focused ion beams, in order to provide submicron spatial resolution for surface analysis. A beam spot diameter of 100 nm is aimed at. The fundamental aspects involved in the use of Ga ions for primary bombardment will be investigated with respect to their influence on the quantification of the measurements. The applicability of RIMS to quantitative multilayer analysis will also be investigated.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences chimiques chimie analytique spectrométrie de masse
- sciences naturelles sciences physiques optique physique des lasers
- sciences naturelles sciences physiques optique spectroscopie
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
67037 Strasbourg
France
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.