Objectif
AIM OF THIS PROJECT IS THE PLASMA DEPOSITION OF PHOTOVOLTAIC GOOD QUALITY AMORPHOUS SILICON FILMS WITH HIGH DEPOSITION RATE.
FOR THIS THE UNDERSTANDING OF THE CHEMICAL PROCESSES OCCURING IN THE PLASMA PHASE AND ON THE GROWTH SURFACE IS CRUCIAL. ACCORDING TO OUR WORKPLAN, A NEW DIODE CONFIGURATION R.F. PLASMA REACTOR HAS BEEN SET UP.
AN IMPORTANT CHARACTERISTIC OF THE PLASMAS GENERATED IN R.F. PARALLEL PLATE REACTOR IS THE PRESENCE OF SHEATH REGION AT BOTH POWERED (CATHODE) AND GROUNDED (ANODE) ELECTRODES. THE OBSERVED ASYMETRY, ALSO IN THE DISTRIBUTION OF THE POTENTIAL OF THE SURFACES WITH RESPECT TO THE PLASMA, GENERATES SPATIAL DISPHOMOGENEITY IN THE PLASMA PHASE; I.E. SPATIAL VARIATION OF ELECTRON TEMPERATURE (KTE) AND DENSITY (NE), AND OF DENSITY OF ALL THE REACTIVE SPECIES PRESENT IN THE PLASMA. WITH THIS RESPECT, THE SPATIALLY RESOLVED DIAGNOSTIC OF THE PLASMA PHASE CAN ASSUME A DETERMINANT ROLE FOR THE MODELLING OF THE PLASMA DEPOSITION SYSTEM. THIS ASPECT HAS BEEN INVESTIGATED IN THE LAST PART OF THE RESEARCH WORK BY UTILIZING OES AND LEP TECHNIQUES WITH SPATIAL RESOLUTION ALONG THE REACTOR AXIS. THIS HAS BEEN DONE BY MOVING THE ELECTRICAL PROBES IN THE ELECTRODE GAP BY MEANS OF AN EXTERNAL MANIPULATOR AND BY SAMPLING THE EMISSION OF A LIMITED PLASMA REGION THROUGH A MOVEABLE APPARATUS.
THE NE AND KTE PROFILES OBTAINED IN SIH4-H2 PLASMA, UNDER TYPICAL CONDITION FOR THE DEPOSITION OF GOOD QUALITY MATERIAL, WELL EVIDENCES THE EXTENT OF THE CATHODE SHEATH, WHICH IS COMPARABLE WITH THE PLASMA VOLUME, AND ARE INDICATIVE OF A STRONG GRADIENT OF ELECTRICAL FIELD BETWEEN THE ELECTRODES. FROM THESE PRELIMINAR RESULTS IT IS WELL EVIDENT THAT THE SPATIALLY RESOLVED DIAGNOSTICS CAN BE FRUITFUL TO DESIGN A MAP OF THE MICROSCOPIC PARAMETERS IN PLASMA REACTOR AND CONSEQUENTLY TO GAIN A DEEPER INSIGHT IN DEPOSITION MODELLING.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux solides amorphes semi-conducteurs amorphes
- sciences naturelles sciences physiques physique des plasmas
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
70125 BARI
Italie
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.