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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-05-24

Multi-sample epitaxial deposition chamber

Objetivo

The project aims to develop an European Technology to realize high performances customized reaction chambers for Chemical Vapor Deposition (CVD), and metal organics phase vapor systems. Mainly development is dedicated to R&D on the Epitaxy of composed semiconductors, both III-V and II- VI. The final prototype is an integrated instrument, with an epitaxial chamber suitable to work on 2" wafer, also having scale up facility to 3" or 4" , with high lateral uniformity (better than 1 %) for the deposit thickness and stechiometry. This chamber should also have a geometry suitable to a fast switching of the gaseous gas composition for the growth Atomic Layer Epitaxy applications. The prototype development will pay very much attention to the possible customized applications, so that dimensions and technical specifications will allow an easy scale up to every particular CVD process. The target price of the instrument is highly competitive with respect to the existing instruments.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

Datos no disponibles

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

EAW - Exploratory awards

Coordinador

2M STRUMENTI SRL
Aportación de la UE
Sin datos
Dirección
Via G. Pontano N.9
00141 ROMA
Italia

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Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (1)

Mi folleto 0 0