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13th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT2000), 17-22, September, 2000, Alpach, Austria

Objectif

Ion Implantation Technology (IIT) Conferences constitute a biannual series aimed at applications of ion beams in microelectronics technologies inclusive corresponding development of equipment. The present meeting (IIT2000) is the 13th in the series. Ion implantation developed to become an almost exclusive technique in doping silicon semiconductor devices, one of they key problems in production of integrated devices. Challenges of the coming decade with huge foreseeable problems have already been formulated in a "Roadmap". This decade becomes critical as complexity of integrated circuits with their present day architecture will reach physical limits. To match the demands, a development in all aspects is inevitable, i.e in scientific background and modelling, in performance of the technique itself, in characterisation methods, and in implantation equipment capable of that high precision doping. This also implies that a present and future processing steps have to achieve a precision and reproductibility on an atomic level.

Ion implantation is based on knowledge of ion-solid interactions, which is in itself an extremely complex phenomenon. As topic of IIT is closest to industry among those the conference series, which deal with ion beam techniques, it is its ultimate goal to synthesise development in basics with practical and economically viable solutions. Thus, IIT is the conference, where scientists and engineers both from academics and from industry (the latter group constitutes > 50% of the participants) can meet and exchange ideas and experience. This view is enhanced by the school integrated to the conference, where international renowned experts, again, both from academics and industry, deliver lectures and serve the participants for three days.
ftp://ftp.cordis.lu/pub/improving/docs/HPCF-2000-00196-1.pdf(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre)

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

Données non disponibles

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Coordinateur

Type of Event: Large Conference
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse
This event takes place in Alpbach,Tyrol

Autriche

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Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée
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