Objectif
Mechanical stress in semiconductor devices can drastically degrade the device performance. These effects become increasingly important for the new generations with smaller dimensions. Convergent beam electron diffraction (CBED) in a transmission electron microscope is the only technique that has adequate spatial resolution to measure the stress in these advanced structures but needs further development in terms of procedures and results interpretation. The site-specific specimen preparation for small device structures that include Cu/ low-k metallization requires the use of Focused Ion Beam (FIB) thinning. The effect of this thinning procedure on the stress distribution needs further investigation. The research project will focus on:
1) CBED analysis of advanced devices with small dimensions (0.10-0.18 micron) and new materials(new silicides, SiGe, Cu/ low-k metallization),
2) The interpretation and optimization of the strain/stress analysis of these structures (room temperature measurements, energy filtering, use of new zone axes , advanced simulations),
3) The development of an in-site plucker system for site-specific FIB preparation of these structures and the investigation of the effect of the FIB preparation on the measured mechanical stress,
4) The application of the in-situ plucker to the study of stress induced deformation in Cu/ low-k dielectric stacks. The training will be a combination of research work and attending courses and seminars. The research work will involve: the development of new procedures for Convergent Beam Electron Diffraction, the technical design and development of an in-site plucker system, acquiring skills on Focused Ion Beam, extending knowledge on advanced processing, collaboration in a large research team, the internal and external reporting. Training courses will be: the semiconductor processing courses of the MCT training centre, weekly internal seminars, lectures given by invited experts, and the post-graduate courses of the KU Leuven-university. The training will allow the application to enhance his knowledge of materials characterization and advanced device processing, and to get full insight in the future evolutions of semiconductor industry. Therefore, he will achieve a strong background in semiconductor technology and become an expert in-line with the industrial needs.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques optique microscopie
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
3001 HEVERLEE
Belgique
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.