Objectif
Foreseen Results
The proposed technique involves the use of a repetitive laser-plasma x-ray source and detection of fluorescence radiation by advanced multilayer mirror analyzers. High sensitivity down to 0; 1 ppm and resolution are achieved due to a high excitation beam intensity on the sample and advanced multilayer optics for efficient spectral analysis of the fluorescence radiation.
Using this approach it is expected to meet the high specifications to the surface impurity analysis set by microelectronics industry; thereby promoting table-top; low-cost materials analysis.
X-Ray fluorescence analysis (XRF) stands a long tradition as a powerful analysis technique for materials research. The range of applications spans matured industrial usage in for instance wafer inspection in semiconductor fabrication; as well as exploratory scientific research of new materials like in silicon solar cells. XRF constitutes a non-destructive method for determination of microscopic quantities of elements without the need for extensive sample preparation.
Despite this wide spread usage; and a fast growing interest in impurity control in microelectronics and environmental research; two general fields of applications have not yet been assessed successfully.
These are :
the analysis of light elements with atomic number below 10; including important materials like boron or oxygen; and
the ability to perform measurements with spacial resolution with other x-ray sources than large scale sources like synchrotron radiation facilities.
This proposal aims at achieving a novel approach to XRF micro-analysis and pursues two principal interrelated objectives :
development of an analysis technique with state-of-the-art characteristics for light elements with atomic number below 10; i.e. to demonstrate trace detection limits on the order of 1pg/cm2 for elements like Li; Be; B; C; N; O and F; and a spatial resolution on the sample of down to 1 mm.
to make this XRF micro-analysis suitable for a small scale laboratory and hence accessible to larger group of users from research and industry.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques optique
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
3430 BE Nieuwegein
Pays-Bas
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.