Objetivo Assessment of a 300 mm prototype equipment for the manufacture of semiconductor components. The equipment is a compact size, wet process, single tank reactor, dedicated to the pre-clean steps of advanced front-end CMOS processes (<0.15 µm), e.g. composite gate oxide growth and low temperature epitaxy and hetero-epitaxy. The assessment will cover manufacturing relevant parameters such as throughput, CoO and liquid consumption reduction. It will also evaluate the concept of diluted chemistries for both chemicals consumption reduction and minimum unwanted surface state modification prior to the following process step. Thanks to a coupling with another 300 mm single wafer cluster which benefits of in-line optical characterisation tools, the process parameters of the pre-clean steps will be linked to those of two fundamental steps of the front-end CMOS process: oxidation/nitridation/annealing and low temperature Si and SiGe alloys epitaxy and hetero-epitaxy. Ámbito científico natural scienceschemical scienceselectrochemistryelectrolysisnatural sciencesphysical scienceselectromagnetism and electronicssemiconductivity Programa(s) FP5-IST - Programme for research, technological development and demonstration on a "User-friendly information society, 1998-2002" Tema(s) 1.1.2.-4.8.3 - Processes, equipment and materials Convocatoria de propuestas Data not available Régimen de financiación ACM - Preparatory, accompanying and support measures Coordinador FRANCE TELECOM Aportación de la UE Sin datos Dirección 6 PLACE D'ALLERAY 75505 PARIS 15 Francia Ver en el mapa Coste total Sin datos Participantes (5) Ordenar alfabéticamente Ordenar por aportación de la UE Ampliar todo Contraer todo INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO.KG Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección KOENIGSBRUECKER STRASSE 180 01099 DRESDEN Ver en el mapa Coste total Sin datos INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW Bélgica Aportación de la UE Sin datos Dirección Kapeldreef 75 3001 LEUVEN Ver en el mapa Coste total Sin datos SCP GERMANY GMBH Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección CARL-BENZ-STRASSE 10 72124 PLIEZHAUSEN Ver en el mapa Coste total Sin datos SILTRONIC AG Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección HANNS-SIEDEL-PLATZ 4 81737 MUENCHEN Ver en el mapa Coste total Sin datos STMICROELECTRONICS SA Francia Aportación de la UE Sin datos Dirección 29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND 92120 MONTROUGE Ver en el mapa Coste total Sin datos