Objetivo
The aim of this project is the development of new permanent magnet film based devices which could be used in micro-motors, micro-generators, sensors and read heads and help to significantly reduce the size, weight, and cost of these devices. The proposal focuses first on the development of nanostructured magnetic materials with low temperature processes compatible with microelectronics environment. The second aim of the project is to develop processes for small hard magnetic element fabrication down to sumicron sizes which can be used inconventional clean room facilities and at low temperature. Manufacturing aspects of permanent magnets films as well as the modelling, realization and evaluation of new miniaturised devices which will incorporate these small permanent magnets are included in this project.
Objectives:
1. A mastering of the growth of permanent magnet films at low temperature using both conventional and wholly novel deposition technologies;
2. Mastering of small permanent magnets fabrication and characterisation with sizes down to submicron;
3. Explore new etching technologies for thick permanent magnet films;
4. Development of modelling tools for permanent magnet based devices;
5. Production of four microsystems using permanent magnet films instead of normal size magnets. The four devices will be characterised fully through modelling and measurement on adapted test benches. These devices are a GMR sensor, a micro generator, a micromotor and a micro switch.
Work description:
The work is separated into two main parts.
I The mastering of the growth and patterning of thin and thick permanent magnet films. Standard operating procedures will be defined by the industrial partners by the beginning of the work. Films will be deposited using various techniques compatible with industrial processes (low cost and low temperature deposition). These films will be first characterised and after patterned in small permanent magnet with various shapes and sizes. The stability and magnetic properties of these small magnets will be investigated as function of size, material and deposition conditions. The results will be analysed with the help of micromagnetic calculations and 3D flux.
II The building of the demonstrators. Study of the commercial market and production possibilities:
- Standard operation procedures definition;
- Modelling of magnetic fields produced in heterogeneous structures by Films Permanent Magnets;
- Dimensioning of different demonstrators and selection of those to be built;
- Study of the technological steps by using microelectronic means as for example deposition techniques (evaporation, sputtering, electrochemical and vapour deposition) in order to obtain insulating and metallic thin film materials;
- UV lithography means for microstructure patterning, etching techniques (ion milling, reactive ion etching, OE) and planarisation techniques (mechanical or chemico-mechanical processes);
- mounting and testing of the demonstrator.
Milestones:
The major milestones are: Thin films with optimised deposition procedure and magnetic properties, production of small magnets with enough good properties, Midterm assessment, Thick films deposition and etching. Demonstrators provided.
The expected results are: A mastering of the growth of permanent magnet films, Modelling tools for permanent magnet based devices, Demonstrators fabrication patenting, A workshop.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería de materiales recubrimiento y películas
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
75752 PARIS CEDEX 15
Francia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.