Objectif
Ellipsometry is an optical technique that finds its application in a wide range of fields in Science and Industry for monitoring (slow) processes and accurate determination of the surface states of samples and products. It is a non-destructive, in-situ measurement and analysis technique that allows measurements under any operational conditions where a light beam is allowed to enter and return. In many of the application areas there is a need for faster measurement techniques.
Recently a new ellipsometric technique has been demonstrated that allows the determination of the ellipsometric parameters with a measurement frequency of a few MegaHertz. Other commercially available fast ellipsometers report a measurement frequency of 50 Hz so this technique is several orders of magnitude faster than state of the art techniques. Depending on the application, part of the speed can be sacrificed for the benefit of accuracy by averaging. In that case the accuracy is expected to be at least comparable with conventional techniques. The ultra fast ellipsometer is based on the Hazebroek Holscher interferometric ellipsometer extended with a Zeeman laser. Thereby one obtains an ellipsometer without any moving components, that can be made into a very compact unit.
The objective of this project is to develop this new ellipsometer and to demonstrate its capabilities and limitations. Results will be compared with conventional ellipsometry by using well defined test samples that have been used in a round robin test in a previous BCR project.
Applications of this ultra fast ellipsometer will be demonstrated studying transient surface phenomena that could not be measured before in casu the surface finishing of Aluminium. Furthermore the possibility of the ellipsometer to give continuous analog output of the ellipsometric parameters will be exploited in electro-optical impedance studies.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métal pauvre
- sciences naturelles sciences physiques optique physique des lasers
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
2628 BL Delft
Pays-Bas
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.