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Contenuto archiviato il 2024-04-19

Ultrafast Ellipsometry

Obiettivo



Ellipsometry is an optical technique that finds its application in a wide range of fields in Science and Industry for monitoring (slow) processes and accurate determination of the surface states of samples and products. It is a non-destructive, in-situ measurement and analysis technique that allows measurements under any operational conditions where a light beam is allowed to enter and return. In many of the application areas there is a need for faster measurement techniques.

Recently a new ellipsometric technique has been demonstrated that allows the determination of the ellipsometric parameters with a measurement frequency of a few MegaHertz. Other commercially available fast ellipsometers report a measurement frequency of 50 Hz so this technique is several orders of magnitude faster than state of the art techniques. Depending on the application, part of the speed can be sacrificed for the benefit of accuracy by averaging. In that case the accuracy is expected to be at least comparable with conventional techniques. The ultra fast ellipsometer is based on the Hazebroek Holscher interferometric ellipsometer extended with a Zeeman laser. Thereby one obtains an ellipsometer without any moving components, that can be made into a very compact unit.

The objective of this project is to develop this new ellipsometer and to demonstrate its capabilities and limitations. Results will be compared with conventional ellipsometry by using well defined test samples that have been used in a round robin test in a previous BCR project.

Applications of this ultra fast ellipsometer will be demonstrated studying transient surface phenomena that could not be measured before in casu the surface finishing of Aluminium. Furthermore the possibility of the ellipsometer to give continuous analog output of the ellipsometric parameters will be exploited in electro-optical impedance studies.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.

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Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Dati non disponibili

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

Dati non disponibili

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinatore

Technische Universiteit Delft
Contributo UE
Nessun dato
Indirizzo
136,Julianalaan 136
2628 BL Delft
Paesi Bassi

Mostra sulla mappa

Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

Nessun dato

Partecipanti (2)

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