Objetivo
SPMs, in particular AFMs begin to captivate fields of application in industrial research and development as well as quality assurance systems. There is one major annual international conference devoted to this theme and several national programmes have been established in the past few years with the goal of supporting industrial applications. At present, SPMs are employed in quality assurance systems (in compliance with EN 29000 / ISO 9000), mainly in microelectronics and computer component fabrication; however, the interest in SPMs is also growing in other industries, such as micromechanics and thin films. Besides the use for dimensional quality control, SPMs are used in R&D for lithography, both indirectly by exposing resist and directly by depositing material.
Amongst scientists in research and application, the unanimous opinion is that for measuring and lithographical purposes there is need for better positioning of the probe. In conventional SPMs, the voltage across the piezos is taken as position indicator. However, it is known that piezos suffer from hysteresis, and from time- and temperaturedependent creep. Conventional SPMs offer software corrections for this behaviour. The first real metrological SPMs with internal hardware corrections are now on the market. Both types need initial and periodic calibration. Users are uncertain about effective calibration procedures,and the necessity of recalibration. Currently, there are only vague hints or instructions in user manuals and in a few publications. The network aims at bringing together working groups which are primarily interested in the metrological use of SPMS - i. e. national institutes and research institutes to establish traceability and to develop calibration methods, and users and manufacturers to investigate these methods in practice. The aim of the network is to investigate standards (artefacts) and (existing) procedures concerning their practical applicability and their potential possibility with respect to their traceability (QS systems). The main work therefore will be to organize and carry through comparison measurements. For the beginning, already existing standards (artefacts) can be used. During the running time of this network, standards from the newly installed SMT project 'Transfer standards for calibration of scanning probe microscopes' will be used whenever possible and available. Some of the partners have developed algorithms for the evaluation of measurements and the calibration of SPMs. These procedures shall be investigated together with the standards by all partners, including especically the industrial users.
The results will be presented in reports and in an annual seminar.The synthesis report will contain a draft guideline for the calibration of SPMs.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software
- ciencias naturales ciencias físicas óptica microscopía
- ingeniería y tecnología ingeniería de materiales recubrimiento y películas
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
38116 Braunschweig
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.