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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
CORDIS
Contenido archivado el 2024-06-11

Calibration standards for surface topography measuring systems down to nanometric range

Objetivo



For competitiveness in the global market, the ability to manufacture goods to increasingly lower surface roughness of the functionally relevant surfaces, e.g. video recorders, microelectronic devices, machine tools, and automobile components is a simple necessity. For Quality Assurance and Process Control the precise and accurate measurement of surface topography is therefore a major technological problem in science, engineering and manufacturing industry. The problem arises due to the lack of traceable standard artefacts for instrument calibration in the X, Y and Z directions and for the calibration of filters. These problems restrict the ability quantitatively to define surface topography and create conflict between customer and manufacturer and among metrology laboratories.

For the most demanding applications a whole range of recently developed and functionally related surface detection systems with resolutions down to the nanometric range are being used, none of them currently well standardised and calibrated. Therefore, for ease of trade within the EU and between the EU and the rest of the world these problems must be resolved. Existing ISO standards on calibration specimens (ISO 5436) are inadequate and extremely limited in that they only cover contacting stylus instruments and only partially the standardised measuring ranges for these instruments. The whole range of non-contacting instruments are not covered by any National or International Standards despite their widespread use in industries ranging from automotive manufacture to ultraprecision manufacture of video recorders, compact discs and data storage systems.

The project is to address these problems in the following way. To devise novel traceable calibration techniques for Surface Topography Measuring Systems to include methods and procedures applicable across the full range of instrumentation including the nanometric regime. It is expected that this could be achieved by a 3 year research programme with the objectives:
(1) Primary calibration standards (artefacts), also suited for replication processes and covering the whole measuring ranges of available instruments in X, Y and Z direction
(2) Active calibration devices able to be calibrated to sub-nanometre range (3) Technologies for industrial reproduceable manufacture of low cost replicas (4) Calibration procedures for calibration specimens and instruments (5) Non-invasive cleaning methods for calibration standards.
Keywords: Metrology, Traceability, Calibration, Nanotechnology, Surface Characterization, Surface Topography, Surface Roughness

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Palabras clave

Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).

Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

Datos no disponibles

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinador

Technische Universität Chemnitz
Aportación de la UE
Sin datos
Dirección

9107 Chemnitz
Alemania

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Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (7)

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