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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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Contenu archivé le 2024-06-11

Calibration standards for surface topography measuring systems down to nanometric range

Objectif



For competitiveness in the global market, the ability to manufacture goods to increasingly lower surface roughness of the functionally relevant surfaces, e.g. video recorders, microelectronic devices, machine tools, and automobile components is a simple necessity. For Quality Assurance and Process Control the precise and accurate measurement of surface topography is therefore a major technological problem in science, engineering and manufacturing industry. The problem arises due to the lack of traceable standard artefacts for instrument calibration in the X, Y and Z directions and for the calibration of filters. These problems restrict the ability quantitatively to define surface topography and create conflict between customer and manufacturer and among metrology laboratories.

For the most demanding applications a whole range of recently developed and functionally related surface detection systems with resolutions down to the nanometric range are being used, none of them currently well standardised and calibrated. Therefore, for ease of trade within the EU and between the EU and the rest of the world these problems must be resolved. Existing ISO standards on calibration specimens (ISO 5436) are inadequate and extremely limited in that they only cover contacting stylus instruments and only partially the standardised measuring ranges for these instruments. The whole range of non-contacting instruments are not covered by any National or International Standards despite their widespread use in industries ranging from automotive manufacture to ultraprecision manufacture of video recorders, compact discs and data storage systems.

The project is to address these problems in the following way. To devise novel traceable calibration techniques for Surface Topography Measuring Systems to include methods and procedures applicable across the full range of instrumentation including the nanometric regime. It is expected that this could be achieved by a 3 year research programme with the objectives:
(1) Primary calibration standards (artefacts), also suited for replication processes and covering the whole measuring ranges of available instruments in X, Y and Z direction
(2) Active calibration devices able to be calibrated to sub-nanometre range (3) Technologies for industrial reproduceable manufacture of low cost replicas (4) Calibration procedures for calibration specimens and instruments (5) Non-invasive cleaning methods for calibration standards.
Keywords: Metrology, Traceability, Calibration, Nanotechnology, Surface Characterization, Surface Topography, Surface Roughness

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Mots‑clés

Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).

Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

Données non disponibles

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

Technische Universität Chemnitz
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse

9107 Chemnitz
Allemagne

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Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée

Participants (7)

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