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FP5

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Project ID: HPMF-CT-2000-00499
Finanziato nell'ambito di

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Dal 2000-09-01 al 2002-08-31

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 140 200

Contributo UE:

EUR 140 200

Coordinato in:

Germany

Argomento (i):

Meccanismo di finanziamento:

RGI - Research grants (individual fellowships)

Coordinatore

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Schottkystrasse 10
91058 ERLANGEN
Germany
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Contatto amministrativo: Heiner RYSSEL