Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Informazioni relative al progetto

ID dell’accordo di sovvenzione: HPMF-CT-2000-00499

Progetto chiuso

Data di avvio 1 Settembre 2000

Data di completamento 31 Agosto 2002

Finanziato da

• Programme for research, technological development and demonstration on "Improving the human research potential and the socio-economic knowledge base" (1998-2002)

Costo totale € 140 200,00

Contributo UE € 140 200,00

Coordinato da

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany

Programma(i)

• FP5-HUMAN POTENTIAL - Programme for research, technological development and demonstration on "Improving the human research potential and the socio-economic knowledge base" (1998-2002)

Argomento(i)

Data not available

Invito a presentare proposte

Data not available

Meccanismo di finanziamento

RGI - Research grants (individual fellowships)

Coordinatore

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Schottkystrasse 10 ; 91058 ERLANGEN ; Germania
• Costo totale: Nessun dato