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FP5

DUSAN KORYTAR

Project ID: G5TR-CT-2000-00046
Financiado con arreglo a

Spatially resolved subsurface characterization of semiconductor wafers by high resolution x-ray diffraction

Desde 2001-02-28 hasta 2002-02-27

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 128 000

Aportación de la UE:

EUR 128 000

Coordinado en:

Germany

Objetivo

Coordinador

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Krügerstraße 22
01326 WEISSIG - DRESDEN
Germany
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Contacto administrativo: Henning METZLAFF
Correo electrónico
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