Skip to main content

New cubic silicon carbide material for innovative semiconductor devices

Article Category

Article available in the folowing languages:

Nouveaux dispositifs semi-conducteurs

La structure des cristaux du carbure de silicium détermine ses propriétés physiques et chimiques. Des méthodes mises au point pour le traitement des structures cristallines les moins utilisées peuvent faire évoluer son intérêt économique.

Technologies industrielles

Le carbure de silicium à cristaux de structure hexagonale, également connue sous le nom de forme alpha, est un semi-conducteur. Ce matériau est largement utilisé pour la fabrication de dispositifs électroniques à semi-conducteurs. Les propriétés électromagnétiques du carbure de silicium combinées à ses propriétés physiques en font un matériau idéal pour les circuits intégrés. Il est possible de fabriquer des dispositifs microélectroniques sur une fine tranche de cristal de silicium, donnant des circuits intégrés de haute qualité. Ce nouveau matériau est rare à l'état naturel. Toutefois, sa production industrielle est possible en utilisant des méthodes de dépôt chimique en phase vapeur. Le carbure de silicium existe sous deux structures cristallines et les recherches se sont concentrées sur la forme cubique dans le cadre du projet SOLSIC. La structure hexagonale a fait l'objet d'études poussées et le carbure de silicium est commercialement disponible sous cette forme. A l'inverse, les propriétés physiques et chimiques de la structure cubique restent méconnues. Les recherches du projet SOLSIC ont permis l'émergence d'une nouvelle génération de transistors. En commençant par les propriétés physiques, les fabricants de tranches ont besoin de propriétés de surface particulières. La faible rugosité, l'absence de rayures visibles et de couche endommagée sous la surface font partie des nombreuses exigences draconiennes que doit respecter le matériau. Le carbure de silicium est le troisième matériau le plus dur qui se trouve dans la nature. Par conséquent, des processus complexes et sophistiqués ont été développés pour polir les surfaces de carbure de silicium cubique. La recherche a montré que les méthodes de polissage applicables à la structure hexagonale ne convenaient pas pour la forme cubique du carbure. Grâce aux processus de pointe développés dans le cadre du projet SOLSIC, un polissage industriel efficace du matériau dans sa structure cubique est désormais possible.

Découvrir d’autres articles du même domaine d’application