Skip to main content

New cubic silicon carbide material for innovative semiconductor devices

Article Category

Article available in the folowing languages:

Nowe urządzenia półprzewodnikowe

Struktura krystaliczna węglika krzemu określa jego właściwości fizyczne i chemiczne. Opracowane metody przetwarzania mniej eksploatowanych struktur krystalicznych mogą zmienić zainteresowania handlowców.

Technologie przemysłowe

Węglik krzemu o heksagonalnej budowie krystalicznej, nazywanej również postacią alfa, jest półprzewodnikiem. Materiał ten jest powszechnie stosowany w produkcji półprzewodnikowych urządzeń elektronicznych. Właściwości elektromagnetyczne węgliku krzemu w połączeniu z jego właściwościami fizycznymi sprawiają, że idealnie nadaje się on do produkcji układów scalonych. Możliwa jest produkcja urządzeń mikroelektronicznych na cienkim plastrze kryształu krzemu, na płytce, czego wynikiem jest wysokiej jakości układ scalony. Ten nowy materiał w przyrodzie występuje bardzo rzadko. Tym niemniej, dzięki zastosowaniu metod osadzania chemicznego, możliwa jest jego produkcja przemysłowa. Węglik krzemu występuje w dwóch strukturach krystalicznych — w ramach projektu SOLSIC skupiono się na badaniu postaci sześciennej. Struktura heksagonalna jest intensywnie badana i węglik krzemu jest w tej formie dostępny na rynku. W przeciwieństwie do tego niewiele wiadomo na temat właściwości fizycznych i chemicznych struktury sześciennej. Dzięki badaniom prowadzonym w ramach projektu SOLSIC powstała możliwość opracowania nowej generacji tranzystorów. Zaczynając od właściwości fizycznych, producenci płytek wymagają konkretnych właściwości powierzchni. Mała chropowatość, brak widzialnych zadrapań i brak uszkodzeń warstwy pod powierzchnią to tylko kilka spośród wielu surowych wymagań stawianych materiałowi. Węglik krzemu stanowi trzeci pod względem twardości materiał występujący w przyrodzie. Z tego powodu opracowano złożone i wyszukane procesy polerowania powierzchni tego związku w postaci sześciennej. Badania wykazały, że metody stosowane do polerowania struktury heksagonalnej nie są wystarczające dla postaci sześciennej. Dzięki zastosowaniu opracowanych w ramach projektu SOLSIC najnowszych procesów, możliwe stało się efektywne polerowanie materiału o strukturze sześciennej na skalę przemysłową.

Znajdź inne artykuły w tej samej dziedzinie zastosowania