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Nanoresonators with Integrated circuitry for high sensitivity and high resolution mass detection

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Amplification optimale des signaux à l'échelle du nanoampère

La combinaison de la nanolithographie et des circuits intégrés a permis de produire des capteurs de masse à la fois très petits et très sensibles.

Économie numérique

La communauté universitaire européenne se trouve à la pointe de la recherche sur les nanotechnologies. Le programme Technologies de la société de l'information (IST) a joué un rôle important de stimulation de l'innovation dans ce domaine. Le projet Nanomass II, qui s'est construit sur les progrès effectués au cours du projet Nanomass, en est un exemple parfait. Nanomass II a été coordonné par l'Universitat Autonoma de Barcelone, en Espagne. Les scientifiques du département de génie électronique de l'université ont supervisé le développement du nouveau capteur de masse. L'un des problèmes à résoudre consistait à maîtriser le signal électrique produit par les nanoleviers qui constituent le cœur du capteur. Deux approches différentes ont été mises en œuvre afin de minimiser la capacité causée par l'interface entre le transducteur du nanolevier et l'ensemble de circuits. L'ensemble de circuits était basé sur la technologie de semi-conducteur à oxyde de métal complémentaire (CMOS). Des tests effectués avec un amplificateur de courant ont indiqué que cela pouvait éliminer efficacement la capacité parasite en utilisant une technique de mise à la terre virtuelle. Dans le cas d'un amplificateur de tampon, il était avantageux de produire cette capacité de polarisation à l'aide du même procédé nanolithographique que pour le transducteur. L'effet de l'autopolarisation a également été étudié. Les deux amplificateurs se sont montrés capables de mesurer précisément les courants dans la fourchette de 10-100 nanoampères avec une bande passante d'un mégahertz. Enfin, l'utilité du capteur a été enrichie avec l'inclusion d'un circuit de détection de phase.

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