Optymalne wzmacnianie sygnałów w zakresie rzędu nanoamperów Połączenie nanolitografii z układami scalonymi umożliwiło produkcję bardzo niewielkich czujników masy o wysokiej czułości. Gospodarka cyfrowa © Shutterstock Społeczność akademicka w Europie przoduje w dziedzinie badań nad nanotechnologią. Program Technologie Społeczeństwa Informacyjnego odegrał ważną rolę w stymulowaniu innowacji w tym zakresie. Najlepszym tego przykładem jest projekt NANOMASS II, który powstał w oparciu o oryginalny projekt NANOMASS.Projekt NANOMASS II koordynowany był przez Uniwersytet Autonoma w Barcelonie. Naukowcy z Wydziału Elektroniki nadzorowali opracowanie nowego czujnika masy. Jednym z zagadnień, jakie należało rozwiązać, było prawidłowe rozwiązanie prowadzenia sygnałów elektrycznych generowanych przez mikromaszynowy wysięgnik, który jest sercem czujnika. W ramach wysiłków zmierzających do zminimalizowania obecności pojemności wynikającej z interfejsu pomiędzy przetwornikiem wysięgnika mikromaszynowego a obwodem, wdrożono dwa różne rozwiązania. Obwody zbudowane były w oparciu o technologię półprzewodników komplementarnych (CMOS). Testy przeprowadzone z wzmacniaczem prądowym wykazały, iż można było skutecznie wyeliminować pojemności pasożytnicze po zastosowaniu techniki wirtualnego uziemienia. W przypadku wzmacniacza buforowego, okazało sie korzystne stworzenie pojemności polaryzującej przy użyciu tego samego procesu nanolitograficznego, który zastosowany był dla przetwornika. Przebadano także wpływ autopolaryzacji. Obydwa wzmacniacze okazały się zdolne do dokładnych pomiarów prądów w zakresie 10-100 nanoamperów przy szerokości pasma rzędu jednego megaherca. Na koniec, sama użytkowość czujnika poprawiona została po wprowadzeniu obwodu detekcji fazy.
