De nouveaux nanomatériaux pour des nanomachines
Le projet Acapoly («Academia and company collaboration and technology transfer in advanced polymers») cherche à développer un ensemble de nouveaux matériaux pour les technologies des systèmes micro/nano électromécaniques (MEMS/NEMS). Les matériaux polymères en cours de développement s'appellent Ormocer et SU-8 et l'objectif est de les modifier pour qu'ils puissent être traités par lithographie par faisceau d'électrons, écriture directe laser (DWL), lithographie par nano-impression assistée UV (UV-NIL) et impression jet d'encre (IJP). Les matériaux et les bibliothèques de processus seront utilisés pour réaliser des timbres UV-NIL, des lampes LED pour automobiles et de grands réseaux de guides d'ondes optiques. Classés selon diverses propriétés, notamment la forme géométrique, les guides d'ondes optiques sont des structures qui guident les ondes électromagnétiques dans un spectre optique. Au cours des 24 premiers mois, le projet Acapoly a concentré ses activités sur la préparation des matériaux et la structuration de la technologie nécessaire. Pour développer des réserves à base d'époxyde utilisables en écriture DWL, les réserves ont du être modifiées et optimisées. En outre, les chercheurs ont préparé et étudié lithographiquement trois générations de matériaux DWL sensibles à des longueurs d'ondes supérieures à 400 nm. Les chercheurs du projet Acapoly ont modélisé avec succès des structures de test pour les réserves à base de résine époxyde. Les matériaux obtenus seront étudiés pour développement éventuel en tant que produit commercial. Afin de développer et caractériser des matériaux adaptés à la fabrication de microlentilles avec un outil IJP, le projet Acapoly a modifié des polymères standard en ajoutant des matériaux disponibles du commerce aux propriétés chimiques, mécaniques et optiques connues. D'autres travaux dans le domaine ont abouti au développement de deux matériaux supplémentaires, InkEpo et InkOrmo, basés sur des résines époxydes et des Ormocers. Ils ont été testés avec succès par IJP à température ambiante. Les partenaires du projet ont utilisé la microscopie électronique secondaire, la microscopie lumineuse et l'interférométrie en lumière blanche pour déterminer les formes géométriques des lentilles et les constantes des matériaux. Les résultats ont permis d'étudier les propriétés optiques et la reproductibilité pour une première série de réseaux de microlentilles. Le travail à venir se concentrera sur l'optimisation d'encres sélectionnées et la classification des propriétés chimiques, physiques et optiques des réseaux de microlentilles IJP. L'équipe du projet Acapoly travaillera également à la fabrication d'autres composants microoptiques tels que des microlentilles astigmates.
