Durchbruch bei der Empfindlichkeit von MOEMS Mikrospektrometern für den NIR Spektralbereich

Diese speziell im NIR (aufgrund der kostengünstigen Fertigung) interessanten Systeme waren bislang nur für lichtstarke Anwendungen einsetzbar. Durch neuartige Gitterstrukturen, die in Silizium-Mikrotechnologie ein sogenanntes „Blazen“ der Gitter erlauben, ist in Verbindung mit optimierter Optik, Detektorauswahl und Auswerteelektronik ein Durchbruch bei der Empfindlichkeit erreicht worden, der im Bereich von 900 nm – 2000 nm eine konkurrenzfähige Empfindlichkeit bei deutlich günstigeren Herstellungskosten erlaubt.

Mit diesem Spektrometern können jetzt schnelle Absorptions- und Reflexionsmessungen in realen Einsatzumgebungen ausgewertet werden.

Erste Applikationen befinden sich in den Bereichen Kunststoffrecycling und Altpapiersortierung, sowie in der Analyse organischer Lösungen. Künftige Anwendungen in der Medizin- und Pharmatechnologie, beispielsweise die nichtinvasive Blut-Glukosemessung, werden untersucht.