Mikrosystemtechnik 2000+

Nationales Programm für Mikro- und Nanosysteme mit besonderem Schwerpunkt auf der Nanotechnologie
- Intensivierung der Zusammenarbeit zwischen Wirtschaft und Wissenschaft im Hinblick auf die rasche Umwandlung von Forschungsergebnissen in marktfähige Produkte.
- Frühzeitige Beteiligung kleiner und mittlerer Unternehmen an den Forschungsprogrammen.
- Flexibilisierung des deutschen naturwissenschaftlichen Hochschul- und Forschungswesens durch die Weiterentwicklung seiner Strukturen im Hinblick auf die Maximierung der Wirkung der eingesetzten Forschungsmittel.
Sensortechnik - Fertigung von sensorischen Oberflächen und Strukturen; Si-Komponenten für Nano- und Mikrosysteme
Finanzierungsrate: 50 Prozent; Zusammenarbeit zwischen Forschungseinrichtungen und Industrie unerlässlich