Objetivo
Silicon CMOS is rapidly running out of steam and the entire semiconductor industry is puzzled about what comes next as the roadmap advances towards the terahertz region. It is clear that virtually every material (gate, gate oxide and channel) used in the current transistor must be replaced within the next 3 - 4 years, without interruption in the industry's pace.
Two high mobility material classes are emerging as potential silicon replacement: germanium (Ge) and compound semiconductors (CS). The goal of this project is to find out which one presents the best future technology platform. This formidable question requires a major rethinking of all materials and processes. It will be addressed here from all relevant aspects: advanced large area wafers, novel gate stacks and transistor processing. With a strict focus on a simple and well- defined process-flow as well as an innovative, fast materials characterization track, the main strengths and showstoppers for each material system will be identified.
The first objective is to demonstrate that high mobility large area compliant substrates of Ge-on-insulator (GOI) and CS- on-insulator (CSOI) can be obtained. GOI, and CSOI will be grown by developing a "strained oxide template on Si" technology based on molecular beam epitaxy (MBE). The second objective is to demonstrate high quality gate stacks on Ge and CS. The challenge is to find suitable high-k compounds that can be used as gate dielectrics while maintaining high channel mobilities. The development of amorphous or epitaxial (for double gate) metal gates is also an essential project component. The third objective is to integrate the new channel and gate materials with a 200 mm semiconductor wafer processing line to demonstrate high mobility transistors for a few well chosen material systems.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
15310 AGHIA PARASKEVI ATTIKIS
Grecia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.