Objectif
Silicon CMOS is rapidly running out of steam and the entire semiconductor industry is puzzled about what comes next as the roadmap advances towards the terahertz region. It is clear that virtually every material (gate, gate oxide and channel) used in the current transistor must be replaced within the next 3 - 4 years, without interruption in the industry's pace.
Two high mobility material classes are emerging as potential silicon replacement: germanium (Ge) and compound semiconductors (CS). The goal of this project is to find out which one presents the best future technology platform. This formidable question requires a major rethinking of all materials and processes. It will be addressed here from all relevant aspects: advanced large area wafers, novel gate stacks and transistor processing. With a strict focus on a simple and well- defined process-flow as well as an innovative, fast materials characterization track, the main strengths and showstoppers for each material system will be identified.
The first objective is to demonstrate that high mobility large area compliant substrates of Ge-on-insulator (GOI) and CS- on-insulator (CSOI) can be obtained. GOI, and CSOI will be grown by developing a "strained oxide template on Si" technology based on molecular beam epitaxy (MBE). The second objective is to demonstrate high quality gate stacks on Ge and CS. The challenge is to find suitable high-k compounds that can be used as gate dielectrics while maintaining high channel mobilities. The development of amorphous or epitaxial (for double gate) metal gates is also an essential project component. The third objective is to integrate the new channel and gate materials with a 200 mm semiconductor wafer processing line to demonstrate high mobility transistors for a few well chosen material systems.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Mots‑clés
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
15310 AGHIA PARASKEVI ATTIKIS
Grèce
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.