Objetivo
Technology-computer-aided design (TCAD) is an indispensable tool for development and optimization of new generations of electronic devices in industrial environments. It was estimated in the International Technology Roadmap for Semiconductors that TCAD reduces technology development costs by 35% with a tendency to rise. However, to continue to be that useful for the 32 nm technology node and beyond, the capabilities of TCAD have to follow the paradigm shifts to processes and materials considered for such nanodevices.
The objective of this project is to extend the capabilities of TCAD to the materials and doping processes used at the 32 nm node and beyond. In particular, quantitative models for the deactivation and activation mechanisms for dopants in silicon will be developed which are suited for the low ion implantation energies and low-temperature or millisecond-annealing strategies of future nanodevices. These models will be able to predict the effects of point-defect engineering and, for boron, the influence of fluorine. For strained and unstrained silicon-germanium alloys, strained silicon, and silicon-on-insulator materials, models will be developed for the evolution of extended defects and for the activation, segregation, and diffusion of dopants. Special test structures will also be used to investigate a possible diffusion anisotropy in isolated semiconductor layers. The models developed will be implemented and integrated into FLOOPS-ISE to be of immediate value to the semiconductor industry and validated with respect to their needs.
To reach these ambitious goals, the consortium consists of companies active in complementary fields of competence (STM-France: device manufacturing, Mattson: equipment production, Synopsys: TCAD software, CSMA: characterization) in addition to three leading European research institutes (Fraunhofer-IISB, Univ. Surrey, CNRS-LAAS/CEMES) with extensive experience in modeling and simulation.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica halógenos
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
79108 MÜNCHEN
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.