Obiettivo
Technology-computer-aided design (TCAD) is an indispensable tool for development and optimization of new generations of electronic devices in industrial environments. It was estimated in the International Technology Roadmap for Semiconductors that TCAD reduces technology development costs by 35% with a tendency to rise. However, to continue to be that useful for the 32 nm technology node and beyond, the capabilities of TCAD have to follow the paradigm shifts to processes and materials considered for such nanodevices.
The objective of this project is to extend the capabilities of TCAD to the materials and doping processes used at the 32 nm node and beyond. In particular, quantitative models for the deactivation and activation mechanisms for dopants in silicon will be developed which are suited for the low ion implantation energies and low-temperature or millisecond-annealing strategies of future nanodevices. These models will be able to predict the effects of point-defect engineering and, for boron, the influence of fluorine. For strained and unstrained silicon-germanium alloys, strained silicon, and silicon-on-insulator materials, models will be developed for the evolution of extended defects and for the activation, segregation, and diffusion of dopants. Special test structures will also be used to investigate a possible diffusion anisotropy in isolated semiconductor layers. The models developed will be implemented and integrated into FLOOPS-ISE to be of immediate value to the semiconductor industry and validated with respect to their needs.
To reach these ambitious goals, the consortium consists of companies active in complementary fields of competence (STM-France: device manufacturing, Mattson: equipment production, Synopsys: TCAD software, CSMA: characterization) in addition to three leading European research institutes (Fraunhofer-IISB, Univ. Surrey, CNRS-LAAS/CEMES) with extensive experience in modeling and simulation.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali informatica e scienze dell'informazione software
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica alogeni
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalloidi
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
79108 MÜNCHEN
Germania
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.