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Chip production without friction

Description du projet

Moins de friction, plus d’efficacité dans la fabrication des puces

Les frictions jouent un rôle important dans la pénurie mondiale de puces électroniques. Elles limitent la précision et la vitesse de production des puces, ce qui ralentit le processus de fabrication. À mesure que l’industrie évolue vers des technologies plus précises, la friction et l’usure deviennent des obstacles de plus en plus importants. Comprendre ces questions à l’échelle nanométrique est plus urgent que jamais. C’est ce que se propose de faire le projet CHIPFRICTION, financé par le CER. Il étudiera l’interaction entre les matériaux à base de carbone et le silicium dans la production de puces. Grâce à des techniques avancées telles que la microscopie par fluorescence, les chercheurs étudieront l’impact des frictions sur le processus de production. Le projet entend développer de nouvelles solutions pour réduire les frictions et améliorer l’efficacité de la fabrication des puces.

Objectif

Friction contributes to the global computer chip shortage: friction and wear limit the positioning accuracy and throughput in chip production. As future positioning requirements approach the atomic scale, contact, friction and wear need to be understood at this scale to inspire new positioning solutions which are more urgently needed than ever before.

CHIPFRICTION will focus on a key interface in chip production: carbon based material-on-silicon subjected to nanoslip in a hydrogen-rich environment. How nanoscale elasticity, plasticity and adhesion control rough contact formation will be revealed by matching contact models to ground-breaking fluorescence microscopy contact observations. How a local frictional stability criterion translates into the nanometre partial slip that characterizes the onset of multi-contact sliding will be modelled and observed through unique pre-sliding experiments. The oxidation, interfacial bonding and mechanical mechanisms that lead to wear of the carbon based material will be exposed through a combination of environmental control, new nanowear visualization methods and ex-situ XPS characterization. I am uniquely suited to conduct this work because I have fuelled the development of these experimental techniques, and I have experience in conducting the associated physical modelling.

Macroscopic friction emerges from generic physical ingredients such as elastic deformation of surface topography and shearing of interfacial covalent bonds. How friction emerges, creates a scientific challenge with major impact: Friction is responsible for 25% of the world's energy consumption. I will address this long-standing challenge by experimenting and modelling the complex interplay between contact mechanics, frictional slip and wear of the specific interface. The transfer of new friction manipulation strategies for chip production without friction is facilitated by having an institutional link to the lithography industry.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

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Régime de financement

HORIZON-ERC - HORIZON ERC Grants

Institution d’accueil

STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK INSTITUTEN
Contribution nette de l'UE
€ 1 500 000,00

Bénéficiaires (1)