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Vibrating Membrane Gauge for Wide-Range Pressure Measurement

Description du projet

Une jauge d’ionisation alternative pour mesurer la pression résiduelle des gaz

Les conditions de vide sont utilisées dans divers processus industriels et scientifiques pour améliorer la propreté et le contrôle. Le contrôle du niveau de vide est important pour maintenir des résultats cohérents dans le processus. Les jauges d’ionisation sont considérées comme l’équipement le plus avancé pour mesurer la pression résiduelle des gaz à des niveaux de vide élevés et ultra-élevés. Le projet VIMEG, financé par le CER, vise à mettre au point un manomètre alternatif qui utilise un résonateur membranaire nanomécanique à amortissement intrinsèque très faible pour mesurer la friction des gaz. Cette approche innovante offre la possibilité de fournir des jauges plus compactes, plus durables et plus précises, capables de couvrir une plage de pression plus large que les jauges d’ionisation conventionnelles.

Objectif

Numerous industrial and scientific processes are conducted under vacuum conditions for improved cleanliness and control. Monitoring the vacuum level is crucial to ensure consistent process results. Ionization gauges represent the state-of-the-art for measuring residual gas pressure at high and ultrahigh vacuum levels. Here we propose to establish an alternative pressure gauge based on measuring the gas friction experienced by a nanomechanical membrane resonator with ultralow intrinsic damping. This approach promises more compact, durable, and accurate gauges that cover a wider pressure range than conventional ionization gauges.

Institution d’accueil

KOBENHAVNS UNIVERSITET
Contribution nette de l'UE
€ 150 000,00
Coût total
Aucune donnée

Bénéficiaires (1)