Projektbeschreibung
Alternatives Ionisationsmanometer zur Messung des Restgasdrucks
Verschiedene industrielle und wissenschaftliche Prozesse finden unter Vakuumbedingungen statt, um Sauberkeit und Steuerbarkeit zu optimieren. Die Überwachung des Vakuumgrads ist wichtig, um gleichbleibende Prozessergebnisse zu erzielen. Ionisationsmanometer gelten als die fortgeschrittensten Geräte zur Messung des Restgasdrucks bei Hoch- und Ultrahochvakuum. Im Rahmen des ERC-finanzierten Projekts VIMEG wird auf die Entwicklung eines alternativen Druckmanometers abgezielt, bei dem ein nanomechanischer Membranresonator mit extrem geringer Eigendämpfung zur Messung der Gasreibung zum Einsatz kommt. Dieser innovative Ansatz birgt die Chance auf kompaktere, haltbarere und genauere Manometer, die im Vergleich zu herkömmlichen Ionisationsmanometern einen breiteren Druckbereich abdecken können.
Ziel
Numerous industrial and scientific processes are conducted under vacuum conditions for improved cleanliness and control. Monitoring the vacuum level is crucial to ensure consistent process results. Ionization gauges represent the state-of-the-art for measuring residual gas pressure at high and ultrahigh vacuum levels. Here we propose to establish an alternative pressure gauge based on measuring the gas friction experienced by a nanomechanical membrane resonator with ultralow intrinsic damping. This approach promises more compact, durable, and accurate gauges that cover a wider pressure range than conventional ionization gauges.
Programm/Programme
- HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC) Main Programme
Thema/Themen
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
(öffnet in neuem Fenster) ERC-2023-POC
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigenFinanzierungsplan
HORIZON-ERC-POC -Gastgebende Einrichtung
1165 Kobenhavn
Dänemark