Descripción del proyecto
La generación de alta armónica en la microscopía de barrido de superresolución
La microscopía de superresolución puede resolver objetos por debajo del límite de difracción estándar de la resolución óptica. Sin embargo, su uso en determinadas disciplinas de la ciencia y la ingeniería es poco práctico, ya que depende de la fluorescencia, que durante el etiquetado puede modificar químicamente las muestras. Mientras tanto, con la producción de circuitos integrados cada vez más pequeños para chips informáticos en la industria de los semiconductores, la inspección de calidad necesaria está limitada por las capacidades actuales de los métodos de metrología basados en microscopía óptica. El proyecto MICROSEM, financiado por el Consejo Europeo de Investigación, pretende mejorar el método de generación de armónicos de alta frecuencia que evita la necesidad de etiquetado. Asimismo, demostrará una metrología innovadora en el dispositivo que alcanza una resolución inferior a 100 nm y puede utilizarse con seguridad en aplicaciones para la inspección de obleas de semiconductores.
Objetivo
Super-resolution microscopy has revolutionized imaging by breaking what was believed to be unbreakable: the diffraction limit which determines what a microscope can resolve. However, many disciplines in science and engineering cannot benefit from super-resolution microscopy, because practically all current super-resolution microscopes require fluorescence, often introduced by labelling that is chemically modifying the samples of interest.
The semiconductor industry is the driver of digitization by producing ever smaller integrated circuits for faster computer chips, and has worldwide importance. The critical dimensions of the latest generation of chips are in the nanometer range, enabled by the breakthrough technology of extreme-ultraviolet nanolithography. An efficient production process requires constant quality inspection of the printed features, either directly on the integrated circuits or on dedicated metrology targets. However, the resolution of current all-optical microscopy-based metrology methods cannot keep pace with the fast development of smaller structures by nanolithography.
Within my ERC Starting Grant, I demonstrated that high-harmonic generation that is the frequency upconversion of laser pulses can be optically suppressed and spatially confined in semiconductors without the need for labelling. This can be utilized as sub-diffraction emission for super-resolution scanning microscopy. I will further develop this technique in MICROSEM in order to reach resolution below 100 nm in a conventional optical microscope operating in the visible and ultraviolet region, without the need of complicated vacuum equipment. This will enable crucial applications for semiconductor wafer metrology. I will demonstrate new in-device metrology, and pave the way for additional advanced at-resolution metrology schemes. To ensure knowledge transfer I enlisted one of the key players in the semiconductor industry as collaborator for MICROSEM.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
PROGRAMA PRINCIPAL
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept Grants
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Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) ERC-2024-POC
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Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
3526 KV Utrecht
Países Bajos
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.